Технология измерения на уровне нанометров включает в себя: точное измерение точности и смещения на уровне нанометра, а также измерение топографии поверхности на уровне нанометров. Существует два основных направления развития технологии измерения нанометров.
Одним из них является технология оптической интерферометрии, которая использует помехи света для улучшения разрешения измерения. Методы измерения включают: двухчастотную лазерную интерферометрию, оптическую интерферометрию гетеродина, рентгеновская интерферометрию, стандартный метод измерения инструмента F-P и т.д., может быть использован для точного измерения длины и смещения, а также может быть использован для измерения микро-топографии поверхности.
Во-вторых, сканирование технологии микроскопического измерения зонда (STM). Его основной принцип основан на туннельной эффект квантовой механики. Его принцип заключается в использовании очень острого зонда (или аналогичного метода) для сканирования измеренной поверхности (зонд и измеренная поверхность на самом деле не находится в контакте), а трехмерный микроскопический вид поверхности измеряется с помощью нано-уровня трехмерной системы управления позиционированием смещения. В основном используется для измерения микроскопического внешнего вида и размера поверхности.
Методы измерения, использующие этот принцип, включают: сканирующий туннельный микроскоп (STM), атомный силовой микроскоп (AFM) и так далее.