Введение полупроводниковой сверхрешетки
Полупроводниковая сверхрешетка относится к монокристаллу, в котором множество слоев тонкой пленки многократно расположены. Толщина каждого слоя в многослойной пленке составляет от нескольких до нескольких десятков атомных слоев. Основные полупроводниковые свойства каждого слоя, такие как ширина запрещенной зоны и уровень легирования, могут контролироваться независимо. Период многослойной пленки можно искусственно контролировать во время роста, и, таким образом, получается искусственная кристаллическая структура, то есть сверхрешетка. Сверхрешетка, в которой компоненты каждого слоя в многослойной пленке мутируют, называется сверхрешеткой с компонентной модуляцией; Сверхрешетка каждого слоя, имеющего легированный атомный тип, называется сверхрешеткой с легированной модуляцией.