Классификация по химическому осаждению из паровой фазы
Существует много методов химического осаждения из паровой фазы, таких как CVD при атмосферном давлении (APCVD), CVD при низком давлении (LPCVD), CVD со сверхвысоким вакуумом (UHVCVD), лазерное химическое паровое лазерное осаждение (LCVD), химическое осаждение из паров металлов и органических веществ (MOCVD) плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD) и т. д.